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株式会社 システムインフロンティア

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ADR/ADC

ADR/ADC

ADR/ADC

レビューSEMに接続し、自動でウエハ欠陥のレビューを実施し、欠陥を分類するシステムです。微小な欠陥を画像認識技術により捕捉し、高倍率で自動撮影します。また、予め用意された多数の分類アルゴリズムによって、短時間で欠陥の分類が可能です。欠陥を学習させることにより、特殊な欠陥を検出することも可能です。

特徴

◆ 高分類精度

高精度の欠陥特長抽出アルゴリズムにより、High Accuracy,High Purityを実現しています。


◆ 豊富な分類クラス

予め50種類を越える分類が用意されていますので、分類ルールを作成しなくても運用を開始することができます。


◆ 簡単なADCレシピ作成

分類ルールを選択する、チューニングする、新たな分類ルールを作成するなど、先進的GUIによりADCレシピ作成が簡単に行えます。


◆ MDCの併用

ADCで分類できないUNKNOWN欠陥は、ユーザーがマニュアルで分類することができます。洗練されたGUIにより、大量の画像を簡単に短時間で分類することができます。


◆ 大規模システムへの対応

100万画像を超えるシステムを容易に構築することができます。様々なキーワードで、簡単に迅速に検索して参照することができます。例えば、特定の欠陥タイプを簡単に並べて見ることができます。


◆ 歩留管理システム(APEX)との連携動作

ADCやMDCの結果は、上位のAPEXシステムへ転送されて迅速に障害を検出したり、その原因を突き止めるのに利用されます。


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