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株式会社 システムインフロンティア

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半導体量産工場におけるLSI製造の各工程から得られたデータを用いて、トラブルの発生原因を迅速に特定する、歩留の低下をいち早く検出する、装置の運用 状態を管理する、製品の品質を管理するなど、様々な目的で使用可能な、歩留り管理システム(YMS)です。ユーザーが自由に機能を拡張したり、新規のアル ゴリズムを開発することができるため、社内ノウハウを最大限に活用できることを特長としています。

特徴

◆ 多様なデータに対応
 欠陥情報だけでなく、電気テスト情報、プロセス情報、画像情報などを統合し高度な歩留ま り管理、品質管理機能を提供します。
◆ タイムリーな歩留まり向上
 短期間で歩留まり管理ツールの試作・開発が可能です。
◆ 解析結果をWEBで表示
 解析結果やトレンドデータはWEBでの閲覧が可能です。
◆ 異常をメールで連絡
 異常な数値や欠陥(ごみ)の増大などが発生した場合、担当者にメールでお知らせします。
◆ 不良ビット解析(姉妹品:PROBE)
 大容量メモリに低コストで対応可能となりました。

基本機能

◆ データ検索、集計
◆ マクロ演算
◆ チャート、ウェハマップ描画

データ検索機能、スプレッドシート機能、マクロ演算機能、チャート機能、ウェハマップ機能、集計機能、レポート機能などから構成され、統合された開発環境を提供します。品質管理ツールや歩留管理ツールなどの開発に必要な機能が用意されています。また、APEXシステム以外のデータベース(RDB)のデータ検索もサポートしているため、既存のデータ資産を有効に活用する事ができます。

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